全硅MEMS加速度计具有温度特性好、封装体积小、成本低的优点,从而成为小型化GNC（制导、导航与控制）系统的关键器件。给出了一种具有三层硅结构的MEMS三明治加速度计的设计、加工以及圆片级真空封装方法,其中,中间硅摆片的3D结构通过双面KOH湿法腐蚀制造,腐蚀过程中使用台阶化的SiO2作为硬掩模。硅盖板的加工主要通过KOH各向异性腐蚀和电感耦合等离子体垂直刻蚀完成。引末制导控制-数控滚圆机滚弧机张家港全自动液压滚圆机滚弧机最后,上、下硅盖板通过基于Au-Si共晶反应的全硅键合技术从两侧与硅中间摆片进行键合,并实现圆片级真空封装。三明治加速度计的腔体内封装了压力为200 Pa的高纯氮气本文有公司网站全自动滚圆机采集转载中国知网整理 http://www.gunyuanji.com  。测试结果表明,所述加速度计的闭环输出灵敏度为0.575 V/g,零位误差为0.43 g。加速度计的-3dB带宽为278.14Hz。加速度计1 h的输出稳定性为2.23×10-4 g（1σ）。加速度计在全温范围（-40℃60℃）内的输出漂移为45.78 mg,最大温度滞环为3.725 mg。 在空间航天器近距离观测和故障诊断过程中,要求距离航天器足够近。从防碰撞角度出发,提出了偏置导引近距离飞跃的要求。针对此要求,在相对运动模型的基础上,根据二维平面内期望的偏置距离与视线转率之间的关系,扩展到三维空间中重新构造偏置项,推出了一种具有终端偏置距离约束的偏置比例导引律,在视线坐标系的两平面内分别应用该导引律进行偏置控制来实现垂直于视线的平面内任意方向的偏置。最后对顺轨低速和逆轨高速两种不同交会方式进行了六自由度数学仿真,仿真结果表明,两种交会方式的脱靶量误差均小于0.5 m,能成功将飞行器导引到目标近旁飞跃点,且在偏置末制导过程中稳定了飞行器的姿态,从而验证了偏置制导控制的可行性,为对目标近距离观测提供了一种新的方法。 引末制导控制-数控滚圆机滚弧机张家港全自动液压滚圆机滚弧机本文有公司网站全自动滚圆机采集转载中国知网整理 http://www.gunyuanji.com  本文有公司网站全自动滚圆机采集转载中国知网整理 http://www.gunyuanji.com